Oberflächenveredelung und Dünnschichttechnik

Oberflächenveredelung
Oberflächenveredelung

Kurzbeschreibung

Modifizierung von Oberflächen durch Beschichtung und Abtrag; Dünnschichttechnik: Prozesse zur Beschichtung (RF-Dioden-Sputtern, chemische Dampfabscheidung, E-Beam-Dampfen) und Abtrag (reaktives Ionenätzen, Nassätzen) im Mikrometer-Maßstab


Raum: D305


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Laborleitung

Prof. Dr. Katja Beha
Raum: G 3.49

Tel.: 089 1265-1617
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Korrespondierend

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