Im Labor für Mikrosystemtechnik sind typische Halbleiterprozesse, wie Dünnschichtherstellung, optische Lithographie oder Ätztechnik möglich. Außerdem finden Arbeiten im Bereich der gedruckten Elektronik statt. Unten aufgeführt finden Sie eine Übersicht über die möglichen Verfahren.
Räume: D206, D207
Telefon: -3630, -3631