Mikrosystemtechnik

Mikrosystemtechnik Labor
Mikrosystemtechnik Labor

Kurzbeschreibung

Im Labor für Mikrosystemtechnik sind typische Halbleiterprozesse, wie Dünnschichtherstellung, optische Lithographie oder Ätztechnik möglich. Außerdem finden Arbeiten im Bereich der gedruckten Elektronik statt. Unten aufgeführt finden Sie eine Übersicht über die möglichen Verfahren.


Räume: D206, D207


Telefon: -3630, -3631



  • Laborausstattung

  • Themengebiete für Abschluss- und Projektarbeiten oder mögliche Kooperationen

Laborleitung

Prof. Dr. Christina Schindler
Raum: D 312

Tel.: 089 1265-1639
Fax: 089 1265-1603

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Belegschaft

Johannes Jehn
Raum: D 207

Tel.: 089 1265-3631
Fax: 089 1265-1603

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Michael Kaiser
Raum: D 207/206

Tel.: 089 1265-3631
Fax: 089 1265-1603

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